Автор: Киреев Валерий Юрьевич
Издательство: ИД Интеллект, 2016 г.
- Редактор-составитель: Кухчик Созонт Ксенофонтович
- Верстка: Забозлаев Станислав Харламович
- Оформитель: Мордас Спиридон Борисович
- Кол-во страниц: 418
- Формат: fb2, pdf,txt
Описание "Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование"
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.
Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов.
Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.
Читать онлайн Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография процессы и оборудование Валерий Киреев.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография процессы и оборудование Валерий Киреев
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография процессы и оборудование Валерий Киреев
|